CÉLULA DE PRIMERA GENERACIÓN (SILICIO CRISTALINO)
Producción de polisilicio El silicio de grado solar se produce en los reactores utilizando silicio de grado metalúrgico mediante un proceso de deposición química por vapor (CVD). El proceso introduce gas silano con varillas de polisilicio a alta temperatura dentro de un frasco de campana refrigerado. El silicio contenido en el gas se depositará en las varillas calentadas, que crecerán gradualmente hasta alcanzar el diámetro deseado. El uso de un sistema de vacío es evacuar los reactores antes de que tenga lugar una reacción química. El nivel de funcionamiento en vacío para esta aplicación oscila entre 0,5 y 1 Torr. Kinney® puede suministrar sistemas de refuerzo/pistón, sistemas de refuerzo/aletas o sistemas de refuerzo/bombeo seco.
CÉLULA DE SEGUNDA GENERACIÓN (PELÍCULA DELGADA)
Muchos dispositivos de película fina se basan en aleaciones amorfas de silicio. Otros dispositivos de película fina suelen ser materiales policristalinos. La fabricación de una celda solar de película delgada consiste en depositar una capa de material semiconductor (como silicio amorfo, cobre, indio, galio, deselenuro o telururo de cadmio) sobre un sustrato de bajo coste, como vidrio, metal o plástico. Las técnicas de deposición de corriente pueden clasificarse ampliamente en deposición física de vapor (PVD), deposición química de vapor (CVD), deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD) o alguna combinación de ellas. Las bombas de vacío detectan gases tóxicos, corrosivos, explosivos, pirofóricos y ligeros como hidrógeno, silano, helio, hexafluoruro de azufre (SF6), trifluoruro de nitrógeno (NF3), fosfina, germano, trifluoruro de boro y muchos más, dependiendo del proceso y la tecnología. Además, las velocidades de bombeo de vacío y el rápido ciclo de la cámara son esenciales. Nuestros sistemas de vacío de dos etapas cumplen con el requisito anterior. Nuestros sistemas están equipados con panel de control NEMA para operar dentro y fuera del sistema, así como con interbloqueos de seguridad como alta temperatura de aceite y alta temperatura de descarga de gases. También se proporcionaron controles de purga de gas inerte para adaptarse a la aplicación.